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擦拭物是指用来除掉洁净室内表面上的污染的工具。遗憾的是，没有一种擦拭物是完美的，适合于洁净内的各种场合。有些擦拭物有吸附性，但会脱落粒子；有些不脱落粒子，但是没有吸附性。当我们选择擦拭物时，应该考虑应用的需求性，并进行适当的评估。选择洁净室用的擦拭物时应该考虑以下特性：
1.擦拭物的材料；
2.擦拭物与溶液或溶剂的相容性；
3.擦拭物与消毒剂的相容性（需要时）
4.擦拭物对液体的吸附率；
5.擦拭物粒子产生情况（湿时和干燥时）；
6.擦拭物可能引出的分子污染；；
7.擦拭物的包装。
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